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ウエハレベル接着剤塗布システム

ウエハレベル接着剤塗布システムSS101

SS101は、RDL First FoWLPのUnderfillプロセスのニーズに応じ開発された高安定性・高精度なウエハ自動ワーク着脱機能付き接着剤塗布システムです。(SS101はPC101EFEM搬送システム1台とGS600SWウエハ接着剤塗布機2台を備える)
このシステムは、ウエハ自動ワーク着脱とウエハ接着剤塗布機能を一体化し、全自動ウエハ搬送、アライメント、予熱、作業加熱、接着剤塗布、放熱などの機能を備えます。また、国際半導体通信プロトコルと互換性があり、同時にAMHS自動ワーク着脱ロボットインターフェースを装備、情報化管理要求と無人化管理傾向と同調しています。
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特性メリット 特性メリット

8/12インチウエハ接着剤塗布に対応。

ウエハの流れと作業の全過程で温度を正確に管理し、自動的に校正し、Underfillプロセスのニーズを満たすと同時に、製品安全を確保します。

製品の流れ、作業過程の観察と問題点の追跡分析を容易にするために、全過程でビデオ監視を行います。

レベル100防塵(清浄度クラス100クリーンルーム、一部はクラス10)で、ウエハレベルパッケージ環境の要求に適合

ESD対策は国際IEC、ANSI規格に準拠。

システム構成 システム構成

  • ❶ Loadport&Foup
  • ❷ Aligner
  • ❸ 走査ステーション
  • ❹ 予熱ステーション
  • ❺ 放熱ステーション
  • ❻ GS600SWA接着剤塗布機作業ステーション
  • ❼ GS600SWB接着剤塗布機作業ステーション
  • ❽ ロボット搬送モジュール
ss101goucheng

作業フロー 作業フロー

  • PC101

    Foup
    ローディング
  • PC101

    RobotがウェハをAligner
    に搬送
  • PC101

    ウエハ
    位置合わせ + 走査
  • PC101

    Robotがウエハを予熱ステーションに搬送
  • GS600SW

    CUF
    作業
  • GS600SW

    ロッド降下後にウェハが円盤に吸着
  • GS600SW

    ロッド降下後にウェハが円盤に吸着
  • PC101

    RobotがウェハをGS600SW接着剤塗布機に搬送
  • PC101

    RobotがウェハをGS600SW接着剤塗布機に搬送
  • GS600SW

    ウエハを保温してロッドが突き上がり、一次放熱を行う
  • GS600SW

    Robotがウェハを放熱ステーションに搬送
  • GS600SW

    ウエハ
    二次放熱
  • PC101

    Robotがウェハを
    Foupの元位置に搬送

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