良率提升

工作机位作业前后检测，末站专业检测，实现多重防呆。

全自动化

采用连线方式，最大程度减少人工干预。

防止整线宕机

作业轨/传输轨分离，单台停机不影响整线运行。

满足信息化管理需求

实时MES系统对接，上传生产状态信息，系统异常状态报警。

支持SECS/GEM半导体通讯协议。

满足严苛的工程条件要求

百级防尘设计。

ESD 防护符合国际 IEC、ANSI 标准。

矿物质框架，具有良好吸震性，有效减少高速运动带来的冲击。